匀胶机(Spin Coater)

• KW-4A(4寸通用型)
• KW-4B系列(5寸通用型)
• KW-4BC系列(5寸中端型)
• KW-4C系列(6寸中端型)
• KW-4L系列(8寸高端型)
• KW-4E系列(8寸高端加热型)
• KW-4Q(12寸高端型)
• KW-4K(450mm高端型)
• KW-4S(2寸高端加热型)
• KW-4X涂胶显影机(机械手)

磁控溅射仪(Sputter Coater)

• SC-SU-I型
• SC-SU-II型

紫外臭氧清洗机(UV Ozone)

• SC-UV-I型
• SC-UV-I++型
• SC-UV-II型

等离子体清洗机(Plasma Cleaner)

• SC-PE-I型
• SC-PE-II型

烤胶机(Hot Plate)&冷盘(Cool Plate)

• SC-H-I型
• SC-H-II型
• SC-H-III型
• SC-C-I型冷盘

狭缝式涂布机(Slot Die Coater)

• SC-SD-I型
• SC-SD-II型

提拉镀膜机(Dip Coater)

• SC-DP-I型
• SC-DP-II型
• SC-DP-III型

自动涂膜机(Auto Film Applicator)

• SC-AF-I型
• SC-AF-II型

射频电源(RF-GENERATOR)

• RFG-500型
• RFG-1000型
• RFG-1500型

光刻机(MASK ALIGNER)

• SC-MA-I